科学资讯 | 台积电公布N2 2nm缺陷率:比3/5/7nm都要好

快科技4月26日消息,在近日举办的北美技术论坛上,台积电首次公开了N2 2nm工艺的缺陷率(D0)情况,比此前的7nm、5nm、3nm等历代工艺都好的多。台积电没有给出具体数据,只是比较了几个工艺缺陷率随时间变化的趋势。
台积电公布N2 2nm缺陷率:比3/5/7nm都要好
台积电公布N2 2nm缺陷率:比3/5/7nm都要好
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