科学资讯 | 院士团队领衔 国产首台28nm关键尺寸电子束量测量产设备出机

快科技8月15日消息,来自无锡高新区管委会的公告显示,今天国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在锡成功出机。
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